برای بدست آوردن آب خالص معمولا از تقطیر آب و یا روش اسمز معکوس استفاده می کنند.در این دو روش با اینکه دقت بالایی دارند اما مقادیر کمی از مواد محلول در آب باقی می مانند.اما گاهی به آب خالص تری نیاز است تا بتوان در صنایع گوناگون از آن استفاده کرد که نمونه فراوان آن آب مورد نیاز برای تزریقات می باشد.این آب باید از نظر مواد محلول در آب و موارد بیولوژیکی در سطح بالایی باشد. به این آب ، آب فوق خالص می گویند.

آب فوق خالص آبی است که برای کاربردهای خاصی تهیه می شود و باید تنها حاوی مولکول‌های خالص آب و یون‌های H⁺ (هیدروژن )و OH^- (هیدروکسید) باشد که در تعادل با یکدیگرهستند ؛ بنابراین هدایت الکتریکی آب فوق خالص در دمای 26 درجه سانتی‌گراد در حدود ۰٫۰56 میکروزیمنس بر سانتی متر و مقاومت الکتریکی آن حدود 18 مگا اهم است.
برای تهیه آب فوق خالص از دستگاه دیونایزر استفاده می شود و شامل سه مرحله تصفیه می باشد.

مرحله اول ، مرحله پیش تصفیه می باشد که توسط فیلتر های ساده الیافی و کربنی مواد معلق در آب و مشتقات آلی آن مانند کلر ، نیترات و فلزات سنگین از آب جدا می شوند.

در مرحله دوم با استفاده از سیستم اسمز معکوس آب را بصورت خالص تر در می آورند و سختی آب را به صفر یا تقریبا به صفر نزدیک می کنند تا آب خالص بدست آید و یونهای آب از آب جدا شوند .

در مرحله سوم نیز از فیلترهای تبادل یونی رزینی به ‌صورت مخلوط یا فیلترهای مجزای آنیونی و کاتیونی برای حذف یون‌های باقی‌مانده استفاده می شود .

البته گاهی نیز بسته به موارد مصرف از لامپ یو وی ( اشعه ماورا بنفش ) نیز استفاده می شود تا از نظر میکروبیولوژیک عاری از هرگونه میکروب باشد.

آب فوق خالص کاربردهای زیادی دارد و عمدتا در صنایع نیمه هادی و صنایع داروسازی مورد استفاده قرار می گیرد.

مهمترین کاربرد آب خالص در صنایع گوناگون :

استفاده در صنایع نیروگاهی و توربین های بخار

استفاده در صنایع برای تمیز کاری دقیق سطوح و سطوح نیمه هادی

استفاده در تولید مواد دارویی و پزشکی بخصوص آب جهت تزریقات

استفاده در آزمایشات شیمی و به‌خصوص شیمی تجزیه به‌عنوان حلال

مطالب مفید دیگر :

دستگاه تصفیه آب

سیستم اسمز معکوس

فیلتر ممبران اسمز معکوس